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600μm微纳夹持器

600μm微纳夹持器

压电驱动微纳米夹持器
行程600微米
位移控制分辨率50nm
力控制分辨率2mN
可定值

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压电驱动微纳米夹持器
行程600微米
位移控制分辨率50nm
力控制分辨率2mN
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